科里奧利質量流量計（Coriolis Mass Flow meter）可以對流體介質的質量流量進行精確的測量和精密的控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產品特點

直接測量質量流量，精度高

重復性好，量程比寬

對流體介質的溫度、壓力和粘度等不敏感

測量流體介質廣泛

模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量

產品參數